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Diffusil®-S
Diffusil®-S wird ausschließlich aus hochreinen, synthetischen Rohstoffen in einem Sol-Gel Verfahren hergestellt. Es erfüllt die hohen Reinheitsanforderungen für den Einsatz in der Halbleiterfertigung.
Diffusil®-S enthält gegenüber anderen Wettbewerbsmaterialien eine höhere Anzahl dafür aber deutlich kleinere Gasbläschen von rund 4µm Durchmesser im Volumen. Dadurch ergeben sich verbesserte thermische und optische Eigenschaften dieses Quarzglases.
Das hohe Reflexionsvermögen gegenüber Infrarotstrahlung macht es zum idealen Material für den Einsatz in Ofenprozessen bei der Chipherstellung.
Diffusil®-S enthält gegenüber anderen Wettbewerbsmaterialien eine höhere Anzahl dafür aber deutlich kleinere Gasbläschen von rund 4µm Durchmesser im Volumen. Dadurch ergeben sich verbesserte thermische und optische Eigenschaften dieses Quarzglases.
Das hohe Reflexionsvermögen gegenüber Infrarotstrahlung macht es zum idealen Material für den Einsatz in Ofenprozessen bei der Chipherstellung.
Thermische Eigenschaften
| Wärmeleitfähigkeit | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Temperatur in °C | 20 | 100 | 200 | 400 | 600 | 800 | 1.000 |
| Wärmeleitfähigkeit W / m*K | 1,29 | 1,32 | 1,37 | 1,43 | 1,47 | 1,56 | 1,68 |
| Wärmeleitfähigkeit | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Temperatur in °C | Wärmeleitfähigkeit W / m*K | ||||||
| 20 | 1,29 | ||||||
| 100 | 1,32 | ||||||
| 200 | 1,37 | ||||||
| 400 | 1,43 | ||||||
| 600 | 1,47 | ||||||
| 800 | 1,56 | ||||||
| 1.000 | 1,68 | ||||||
| Wärmeausdehnungskoeffizient: | 5.6 x 10-7 • K-1 (20 °C – 900 °C) |
| Erweichungspunkt: | 1.600 °C |
| max. Arbeitstemperatur, kurzfristig: | 1.200 °C |
| max. Arbeitstemperatur, langfristig: | 1000 °C |
| Wärmeausdehnungskoeffizient: |
| 5.6 x 10-7 • K-1 (20°C – 900°C) |
| Erweichungspunkt: |
| 1.600 °C |
| max. Arbeitstemperatur, kurzfristig: |
| 1.200 °C |
| max. Arbeitstemperatur, langfristig: |
| 1.000 °C |
Chemische Eigenschaften
Hochreine, synthetisch hergestellte Ausgangsstoffe gewährleisten eine gleichbleibend hohe chemische Reinheit unseres Diffusil®-S. Die typischen Spurenverunreinigungen dieser Materialqualität sind nachfolgend aufgezeigt:
| Spurenverunreinigungen [ppm / Gewicht] | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Al | Ca | Cu | Fe | K | Li | Mg | Na | Ti | Zr |
| < 0,10 | < 0,50 | < 0,02 | < 0,30 | < 0,30 | < 0,05 | < 0,05 | < 0,50 | < 0,02 | < 0,02 |
| Spurenverunreinigungen [ppm / Gewicht] | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Al | < 0,10 | ||||||||
| Ca | < 0,50 | ||||||||
| Cu | < 0,02 | ||||||||
| Fe | < 0,30 | ||||||||
| K | < 0,30 | ||||||||
| Li | < 0,05 | ||||||||
| Mg | < 0,05 | ||||||||
| Na | < 0,50 | ||||||||
| Ti | < 0,02 | ||||||||
| Zr | < 0,02 | ||||||||
| OH-Gehalt: | ca. 300 ppm / Gewicht |
| Säurebeständigkeit: | gem. Klasse 1; DIN 12 116 |
| Alkalibeständigkeit: | gem. Klasse 1; DIN 52 332 |
| OH-Gehalt: |
| ca. 300 ppm / Gewicht |
| Säurebeständigkeit: |
| gem. Klasse 1; Din 12 116 |
| Alkalibeständigkeit: |
| gem. Klasse 1; DIN 52 322 |
Physikalische Eigenschaften
| Dichte: | 2,11 g / cm3 |
| Porosität: | < 4 % geschlossene Porosität |
| Elastizitätsmodul: | 50 - 54 kN / mm2 |
| Biegefestigkeit (3-Punkt): | 80 - 84 N / mm2 |
| Dichte: |
| 2,11 g / cm³ |
| Porosität: |
| < 4% geschlossene Porosität |
| Blasengröße: |
| 3 -4 µm Durchmesser |
| Elastizitätsmodul: |
| 50 - 54 kN / mm² |
| Biegefestigkeit (3-Punkt): |
| 80 - 84 N / mm² |
Optische Eigenschaften
Extrem homogen verteilte Gasbläschen mit einem Durchmesser von rund 4 µm und einer definierten Anzahl von bis zu 2 Milliarden / cm³ im Material führen zu einer gleichmäßig hohen Opazität von Diffusil®-S.
Die Menge und Größe der Gasblasen kann auf Kundenwunsch angepasst werden. Eine höhere Konzentration von Gasblasen erhöht das optische Reflexionsvermögen des Materials weiter.
Elektrische Eigenschaften
| Dielektrizitätskonstante | Elektrischer Widerstand |
|---|---|
| 3,70 (20 °C · 106 Hz) | 1 x 1018 Ω • cm (20 °C) |
| 3,77 (23 °C 9 · 108 Hz) | 1 x 1010 Ω · cm (400 °C) |
| 3,81 (23 °C 3 · 1010 Hz) | 6,3 x 106 Ω · cm (800 °C) |
| Dielektrizitätskonstante | Elektrischer Widerstand |
|---|---|
| 3,70 (20 °C · 106 Hz) | 1 x 1018 Ω • cm (20 °C) |
| 3,77 (23 °C · 108 Hz) | 1 x 1010 Ω • cm (400 °C) |
| 3,81 (23 °C · 1010 Hz) | 6,3 x 106 Ω • cm (800 °C) |
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