Diffusil®-S

Diffusil®-S

Diffusil®-S wird ausschließlich aus hochreinen, synthetischen Rohstoffen in einem Sol-Gel Verfahren hergestellt. Es erfüllt die hohen Reinheitsanforderungen für den Einsatz in der Halbleiterfertigung.

Diffusil®-S enthält gegenüber anderen Wettbewerbsmaterialien eine höhere Anzahl dafür aber deutlich kleinere Gasbläschen von rund 4µm Durchmesser im Volumen. Dadurch ergeben sich verbesserte thermische und optische Eigenschaften dieses Quarzglases.

Das hohe Reflexionsvermögen gegenüber Infrarotstrahlung macht es zum idealen Material für den Einsatz in  Ofenprozessen bei der Chipherstellung.

Thermische Eigenschaften

Wärmeleitfähigkeit
Temperatur in °C201002004006008001.000
Wärmeleitfähigkeit W / m*K1,291,321,371,431,471,561,68
Wärmeleitfähigkeit
Temperatur in °CWärmeleitfähigkeit W / m*K
201,29
1001,32
2001,37
4001,43
6001,47
8001,56
1.0001,68
Wärmeausdehnungskoeffizient:5.6 x 10-7 • K-1 (20 °C – 900 °C)
Erweichungspunkt:1.600 °C
max. Arbeitstemperatur, kurzfristig:1.200 °C
max. Arbeitstemperatur, langfristig:1000 °C
Wärmeausdehnungskoeffizient:
5.6 x 10-7 • K-1 (20°C – 900°C)
Erweichungspunkt:
1.600 °C
max. Arbeitstemperatur, kurzfristig:
1.200 °C
max. Arbeitstemperatur, langfristig:
1.000 °C

Chemische Eigenschaften

Hochreine, synthetisch hergestellte Ausgangsstoffe gewährleisten eine gleichbleibend hohe chemische Reinheit unseres Diffusil®-S. Die typischen Spurenverunreinigungen dieser Materialqualität sind nachfolgend aufgezeigt:

Spurenverunreinigungen [ppm / Gewicht]
AlCaCuFeKLiMgNaTiZr
< 0,10< 0,50< 0,02< 0,30< 0,30< 0,05< 0,05< 0,50< 0,02< 0,02
Spurenverunreinigungen [ppm / Gewicht]
Al< 0,10
Ca< 0,50
Cu< 0,02
Fe< 0,30
K< 0,30
Li< 0,05
Mg< 0,05
Na< 0,50
Ti< 0,02
Zr< 0,02
OH-Gehalt: ca. 300 ppm / Gewicht
Säurebeständigkeit:gem. Klasse 1; DIN 12 116
Alkalibeständigkeit:gem. Klasse 1; DIN 52 332
OH-Gehalt:
ca. 300 ppm / Gewicht
Säurebeständigkeit:
gem. Klasse 1; Din 12 116
Alkalibeständigkeit:
gem. Klasse 1; DIN 52 322

Physikalische Eigenschaften

Dichte:2,11 g / cm3
Porosität:< 4 % geschlossene Porosität
Elastizitätsmodul:50 - 54 kN / mm2
Biegefestigkeit (3-Punkt):80 - 84 N / mm2
Dichte:
2,11 g / cm³
Porosität:
< 4% geschlossene Porosität
Blasengröße:
3 -4 µm Durchmesser
Elastizitätsmodul:
50 - 54 kN / mm²
Biegefestigkeit (3-Punkt):
80 - 84 N / mm²

Optische Eigenschaften

Extrem homogen verteilte Gasbläschen mit einem Durchmesser von rund 4 µm und einer definierten Anzahl von bis zu 2 Milliarden / cm³ im Material führen zu einer gleichmäßig hohen Opazität von Diffusil®-S. Die Menge und Größe der Gasblasen kann auf Kundenwunsch angepasst werden. Eine höhere Konzentration von Gasblasen erhöht das optische Reflexionsvermögen des Materials weiter.

Elektrische Eigenschaften

DielektrizitätskonstanteElektrischer Widerstand
3,70 (20 °C · 106 Hz)1 x 1018 Ω • cm (20 °C)
3,77 (23 °C 9 · 108 Hz)1 x 1010 Ω · cm (400 °C)
3,81 (23 °C 3 · 1010 Hz)6,3 x 106 Ω · cm (800 °C)
DielektrizitätskonstanteElektrischer Widerstand
3,70 (20 °C · 106 Hz)1 x 1018 Ω • cm (20 °C)
3,77 (23 °C · 108 Hz)1 x 1010 Ω • cm (400 °C)
3,81 (23 °C · 1010 Hz)6,3 x 106 Ω • cm (800 °C)

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