Produkte für
Halbleiter-
fertigung

Alle nachfolgend aufgeführten Produkte sind exemplarische Serienprodukte. Wenn Sie die gesamte Produktpalette der IQS aus diesem Anwendungsbereich kennenlernen wollen, kontaktieren Sie uns bitte.

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Near Net Shaped Flansche

Mit dem Abformverfahren der IQS ist es möglich, endkontur-nahe (near net shaped) Flansche aus Diffusil®-S bis zu einem Aussendurchmesser von 380 mm herzustellen. Die quasi fertige Geometrie kann dann in einem finalen Nachbearbeitungsschritt mit wenig Aufwand auf das fertige Endmaß gebracht werden. Dadurch lassen sich erhebliche Einsparungen von Nachbearbeitungszeiten und damit schlussendlich Kosteneinsparungen realisieren.

Flansche aus Diffusil®-S lassen sich nach den gängigen Heißbearbeitungsmethoden verarbeiten, ohne ihre Opazität zu verlieren. Das glasbläserische Zusammenfügen mit transparentem Verusil oder transparentem Quarzglas anderer Hersteller ist ohne weiteres möglich.

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Ringe für Liner

Wir fertigen Ringe als Halbzeuge für Liner in den Dimensionen bis 400 mm Aussendurchmesser und einer Wandstärke bis 50 mm. Die Ringe werden üblicherweise mit einem Materialaufmaß von 5 mm auf Außen- und Innendurchmesser sowie die Ringhöhe gefertigt.

Dieses geringe Aufmaß trägt zu einer erheblichen Materialeinsparung der Halbzeuge bei und reduziert die Zeit bei der anschließenden mechanischen Bearbeitung zum finalen Quarzglas-Liner.

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